微光機電系統(MOEMS)是近幾年在微機電系統(MEMS)中發展起來的一支極具活力的新技術系統，它是由微光學、微電子和微機械相結合而產生的一種新型的微光學結構系統。MOEMS是一種可控的微光學系統，該系統中的微光學元件在微電子和微機械裝置的作用下能夠對光束進行匯聚、衍射和反射等控制，從而可最終實現光開關、衰減、掃描和成像等功能。該系統把微光學元件、微電子和微機械裝置有機地集成在一起，能夠充分發揮三者的綜合性能，不僅能夠使光學系統微型化而降低成本，而且可實現光學元件間的自對準，更重要的是這種組合還會產生新的光學器件和裝置。MOEMS的出現將極大地促進信息通信、航天技術以及光學工具的發展，對整個信息化時代將生產深遠的影響。

一、微光機電系統在民用領域的應用研究

MOEMS在光通信、數字圖像獲取、顯示與處理、IT外圍設備、環境保護、自動化生物醫療裝備、工業維護等方面有著很好的應用前景，國外在上述領域開展了一系列MOEMS技術和產品的研究開發。

1.光通信

開關元件是光網絡的核心部件，其性能的好壞是決定網絡性能的關鍵。基于MEMS的光開關，由于其與光信號的格式、波長、協議、調制方式、偏振和傳輸方向等均無關，而且在損耗和擴展性上都要優于其它類型，與未來光網絡發展所要求的透明性和可擴展性等趨勢相符合，正在成為核心光交換器件中的主流。最近MOEMS取得的絕大多數創新和進步都體現在光通信領域，光通信已經成為MOEMS的主要應用領域之一。

近年來正大力發展一種集成化的MEMS光開關，即在硅片上用微加工技術做出大量可移動的微型鏡片構成的開關陣列。AT&T實驗室采用MOEMS技術研制了8×8光開關陣列。此微機械光開關的尺寸大約為1厘米×1厘米，每個輸入端口對應一個準直微透鏡，每個輸出端口對應一個聚焦微透鏡，光開關的主要組成部分是一個8行8列的微反射鏡矩陣以及每個微反射鏡所對應的控制系統，鏡面通過銷軸聯接。通過抓爬驅動器使微鏡轉動90度，使來自輸入光纖的光束反射到所希望的輸出光纖中。光開關的開關速度為亞毫秒級。這種光開關的介入損耗較大，最大可達19.9分貝(見圖1)。目前MEMS光開關還處于研究階段，沒有形成產業化。隨著光通信技術的發展，網絡帶寬的擴大，MEMS光開關會越來越受到人們的重視，具有重要的研究價值和廣闊的應用前景。

除了MEMS光開關外，目前在光網絡中用得比較多的MOEMS器件還有光纖開關、光交叉連接設備、波分復用/解復用器、可調諧濾波器、色散補償器、光耦合器等。

2.數字圖像處理

在圖像處理的相關產品方面，MOEMS技術大多應用于信息的顯示、打印和處理。其中最為成熟的是數字微鏡裝置(DMD)。圖2所示為美國TI公司研制的DMD光開關原理圖。它通過可以旋轉10度的扭轉鏡來完成投影顯示。每個微鏡下都有驅動電極，在下電極與微鏡間加一定的電壓，靜電力使微鏡傾斜，輸入光被反射至鏡頭，投影到屏幕上，未加電壓的微鏡處的光線反射至鏡頭外。這樣，微鏡使每點產生明暗，投影出圖像。目前，已研制出的DMD的像素達2048×1152。DMD可應用于投影儀和電視等裝置上。

二、微光機電系統在軍事及空間領域的應用研究

雖然MOEMS技術的研究與實際應用還有一段距離，但是由于利用該項技術可以實現武器系統的小型化、低功耗和低成本，所以受到了軍事部門的重視。

1.美國國防高級研究計劃局(DARPA)開展的研究情況

DARPA對于MOEMS的研究給予高度重視，圍繞MOEMS技術及其應用開展了一系列研究計劃，例如光束靈活控制(STAB)系統、光學微型網絡、超大規模集成光學、處理光波長和空間信號計劃、高清晰度系統計劃、基于士兵系統的MOEMS技術的發展計劃等，這里僅介紹其中的幾個計劃。

■光束靈活控制(STAB)系統STAB計劃是要開發出芯片一級的光束操縱元件，目的是發展小型、輕型激光波束控制技術，來代替光學通信和紅外對抗系統中的大型、機械控制的鏡頭系統。該計劃可用來解決激光通信系統中激光光束的方向角窄，影響激光通信系統的實用化的問題。計劃的總目標是實現將光束靈活控制系統的尺寸縮小30倍，重量減輕60倍。

■光學微型網絡該計劃主要進行經濟可承受的高速光學數據網演示，實際應用于飛機和軍艦。已經演示了把垂直腔激光綜合到驅動電子裝置頂上，并與必要的微型光學結合到一起，形成光學連接。然后，放大到16×16靈巧單元陣列光學通信塊，進行芯片與芯片之間通信演示。在實戰飛行試驗方面，通過利用AV-8B飛機的實彈演習，進行10兆比/秒光學網絡的飛行試驗。

■超大規模集成光學計劃的目的是利用光鏈路代替電子鏈路，用于芯片與芯片之間、板與板之間的通信，使線路板之間的數據傳輸率達到每秒太比特，有利于合成孔徑雷達、自動目標識別等高速數據處理，可以使這些系統的體積功率減少100～1000倍。按照計劃，其靈巧像元陣列將放大到100×100，并演示合成孔徑雷達的數據處理。

DARPA研究認為MOEMS在國防方面的應用包括以下7個方面：武器制導和個人導航芯片上的慣性導航組合;軍備跟蹤、環境監控、安全勘測的無人值守分布式傳感器系統;小型分析儀器、液壓與氣動系統、推進和燃燒控制的集成流量系統;替換當前彈頭系統與改進安全性和可靠性的武器安全恢復，保險和引信;移動車輛和運載器上有條件保養的嵌入式傳感器和執行器，在輕武器系統/平臺和抵抗災害建筑中按需增強結構強度;用于每平方厘米千兆字節存儲密度的大規模數據存儲設備和系統;用于鑒別敵友系統、顯示器和光纖開關/調節器中的集成微光學機械器件;用于飛機、自適應光學和精密部件與材料處理的主動、共形表面。

2.微光機電系統在空間的應用

光通信和光遙感是MOEMS在空間的主要應用。

微/納衛星組網時衛星之間的通信若通過地面站，則噪聲干擾和低功率等原因將影響傳輸質量。解決的辦法是采用光通信，它傳輸容量大(理論值可達7.5吉比/秒)，傳輸速率高、帶寬寬，且不占用無線電波段。衛星使用光掃描器，因其體積小、轉角大、散射小和頻率高，可以用來完成衛星網間的捕捉、瞄準和跟蹤。美國航宇局已把空間光通信列入“新盛世”計劃和“深空系統技術”計劃。隨著MOEMS產品的成熟，有可能將微光學元件、微調整器、光源、探測器和處理電路等集成在同一芯片上，組成各種專用自由空間光學平臺，從而實現光學平臺的微型化。目前，美國航宇局噴氣推進實驗室已將多個MOEMS和處理電路組裝成多芯片光通信模塊。國外研究出的一種用于低功耗光學調制和波束控制的模塊，尺寸為10厘米×10厘米×2厘米，質量僅0.4千克，功耗小于5瓦。

隨著衛星微小型化，用于確定姿態、自主導航、科學成像和成像光譜技術的各種光學儀器，其孔徑和光學系統的可利用空間迅速減小。為此，一方面可以在光學系統中通過采用MEMS技術制造的微透鏡陣列、微衍射元件、微光掃描器和光纖感光板等來減小尺寸;另一方面可以把微光學元件、微機械構件、探測器和處理電路集成積木式模塊，進一步減小體積。噴氣推進實驗室完成的用于光學導航和成像科學的基本光學積木式模塊，尺寸為10厘米×10厘米×16厘米，質量僅0.17千克，功耗小于0.3瓦。美國勞倫斯·利弗莫爾國家實驗室與OCA應用光學公司合作研制的寬視場星跟蹤器，有很寬的視場(28度×43度)，可在50毫秒內求出亮星的中心點，能以20微弧度(3σ值)的高精度跟蹤目標。該星跟蹤器包括微電子線路在內，質量僅為175克

，功耗3瓦。

三、微光機電系統的

應用前景與展望

MOEMS以其對光束在時間和空間上的精確控制能力以及體積小、可批生產、功耗低和價格合理等優勢，將廣泛應用于光通信、大規模數據存儲、圖像顯示、軍用光電偵察裝備、光互連計算、自主式航天交會、激光測距、激光雷達、制導、預警監視系統以及使得使用大型光學孔徑的航天器實現小型化等方面。

歐洲非贏利性組織——多功能微系統卓越網絡(NEXUS)對2000～2005年世界MEMS市場的預測報告指出，在2000～2005年期間世界MEMS市場將以每年遞增20%的速度增長，到2005年將達到680億美元的市場份額。其中一個較大的市場需求是來自應用于通信領域的MOEMS和射頻MEMS(RF-MEMS)。到2005年，MOEMS和RF-MEMS在環境、工業自動化、航空電子設備和軍事等方面的通信應用市場份額將達到3億美元。

雖然MOEMS技術發展的歷史并不長，但這是一項學科交叉性和綜合性都很強且極具發展潛力的高新技術。開展這個領域的科學技術研究，既可以帶動一些重要的基礎課題研究，又可以帶動大量概念全新的功能部件開發，因此目前已經成為世界各國都看好的研究熱點之一。